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洁净室洁净度测试检测方法总结

2021-10-21
洁净度测试
一、说明

洁净度测试是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。


二、测试仪器
洁净度测试使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,最常见的是流量 1cfm ,最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ,单位多是立方英呎。至于应使用何种设备,要依业主的规范而定。一般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器。
Class 1000
或更高: 0.5μm
Class 100
0.3μm 0.5um
Class 1
Class 10 0.1μm

若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围,则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器,因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准,则要把结果作换算。单位换算,不影响上限的计算程序。


三、测试步骤:
(1)
确定空调系统之测试调整与平衡已完成,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分。
(2)
确认测试位置与测试点数。
(3)
取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。
(4)
测试位置应均匀分布在无尘室内,避免在产生大量粒子之附近,且将检测仪器以适当之架台支撑,不可以手持支撑。

(5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同)。


四、验收标准:
洁净度的验收基准有二,首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是,任一隔间若需使用信赖度上限分析,则该分析值也必须小于规定值。

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