100

10000

100000

300000

＜10

2~3

2

2

2

≥10~＜20

4

2

2

2

≥20~＜40

8

2

2

2

≥40~＜100

16

4

2

2

≥100~＜200

40

10

3

3

≥200~＜400

80

20

6

6

≥400~＜1000

160

40

13

13

≥100~＜2000

400

100

32

32

≥2000

800

200

63

63

注：对于100级的单向流洁净室（区），包括100级洁净工作台，面积指的是送风口表面积；对于10000级以上的非单向流洁净室（区），面积指的是房间面积